Note technique
La technologie capacitive pour les accéléromètres
Les MEMS (systèmes micro électromécaniques) désignent tout capteur fabriqué à l’aide de techniques de fabrication microélectronique.
Ces techniques créent des éléments sensibles mécanique de taille microscopique, généralement sur du silicium. Lorsqu’ils sont couplés à des circuits microélectroniques, les capteurs MEMS peuvent être utilisés pour mesurer des paramètres physiques tels que l’accélération. Contrairement aux capteurs ICP®, les capteurs MEMS mesurent des fréquences jusqu’à 0 Hz (accélération statique ou continue). Les accéléromètres MEMS à capacité variable (VC) sont des dispositifs à plage plus basse et à sensibilité élevée utilisés pour la surveillance structurelle et les mesures d’accélération constante.
Cette note technique entre dans le détail du foncionnement de ces accéléromètres.
Ces techniques créent des éléments sensibles mécanique de taille microscopique, généralement sur du silicium. Lorsqu’ils sont couplés à des circuits microélectroniques, les capteurs MEMS peuvent être utilisés pour mesurer des paramètres physiques tels que l’accélération. Contrairement aux capteurs ICP®, les capteurs MEMS mesurent des fréquences jusqu’à 0 Hz (accélération statique ou continue). Les accéléromètres MEMS à capacité variable (VC) sont des dispositifs à plage plus basse et à sensibilité élevée utilisés pour la surveillance structurelle et les mesures d’accélération constante.
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